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电子级水标准
Electronic grade water
表2.1、电子级水的技术指标
级别
 
 
 
指标
中华人民共和国电子级水国家标准（GB/T11446.1997）
ASTM电子级水
(E-I)标准
(1993年)
EW-I
EW-II
EW-III
EW-IV
设计参考值
 
电阻率
MΩ.cm(25℃)
18以上
(95%时间)
不低于17
15
(95%时间)不低于13
12.0
0.5
10以上
(95%时间)
不低于5
18以上(90%时间)不低于
17
全硅,μg/L
2
10
50
1000
≤20.0
5(SIO2)
>1μm微粒数,
值,个/mL
0.1
5
10
500
10
0.1
细菌个数,
值个/ mL
0.01
0.1
10
100
≤<10
1/1000
铜值, μg/L
0.2
1
2
500
≤2
1
锌值, μg/L
0.2
1
5
500
≤5
0.5
镍值, μg/L
0.1
1
2
500
≤2
0.1
钠值, μg/L
0.5
2
5
1000
≤5
0.5
钾值, μg/L
0.5
2
5
500
≤5
2
氯值, μg/L
1
1
10
1000
≤10
1
硝酸根,
值, μg/L
1
1
5
500
≤5
1
磷酸根,
值, μg/L
1
1
5
500
≤5
1
硫酸根,
值, μg/L
1
1
5
500
≤5
1
总有机碳,
值, μg/L
20
100
200
1000
≤200
1
细菌内毒素
(E.U.)
 
 
 
 
 
0.03

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